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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0157708 (2011-06-10) |
등록번호 | US-8343262 (2013-01-01) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 19 |
The present invention is directed to the prevention of an exothermic reaction in the gas purifier of an ultra-high purity gas system.
1. A continuous ultra-high gas purification supply apparatus, comprising: a back-up conventional purity gas supply unit;a gas purifier disposed downstream of the back-up conventional purity gas supply unit, the purifier configured to remove hydrogen, oxygen and carbon monoxide to produce a continuou
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