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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0435526 (2009-05-05) |
등록번호 | US-8344559 (2013-01-01) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 14 인용 특허 : 3 |
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1. A method of powering an electrode system driving a plasma chamber, the method comprising: coupling M power generators to N feed points on an electrode system,absorbing power at K of the N feed points, where 0
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