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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0264960 (2002-10-04) |
등록번호 | US-8349241 (2013-01-08) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 15 인용 특허 : 339 |
The present invention is directed to a method of and a mold for arranging features on a substrate to replicate the features with minimal dimensional variability. The method includes arranging features on a layer to minimize thickness variations in the layer that are attributable to density variation
1. A method of arranging features, on a substrate having topological variations, to replicate features having minimal dimensional variability, said method comprising: forming a volume of flowable material on a region of said substrate, said region having an area associated therewith;forming, from sa
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