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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0776862 (2010-05-10) |
등록번호 | US-8377171 (2013-02-19) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 1 인용 특허 : 16 |
The present invention relates to methods and systems for purifying gases, such as for example semiconductor process gases. The invention more particularly relates to fluid purification methods and systems having improved heat transfer capabilities and controls such that the purified fluid produced f
1. A process for activating at least one adsorption bed in an adsorption vessel, the activation process comprising: feeding an activation fluid into an adsorption vessel, the adsorbent vessel having an inner surface and an outer surface, the vessel comprising at least one adsorbent bed formed of at
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