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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0279396 (2007-01-26) |
등록번호 | US-8393223 (2013-03-12) |
우선권정보 | FR-06 01652 (2006-02-24) |
국제출원번호 | PCT/EP2007/050766 (2007-01-26) |
§371/§102 date | 20090828 (20090828) |
국제공개번호 | WO2007/096225 (2007-08-30) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 2 인용 특허 : 21 |
A pressure sensor micromachined by using microelectronics technologies includes a cavity hermetically sealed on one side by a silicon substrate and on the other side by a diaphragm that is configured to be formed under the effect of the pressure outside the cavity. The sensor includes at least one r
1. A pressure sensor produced in a microelectronics technology, comprising: a substrate carrying electrical elements;a layer deposited on a rigid part of the substrate, said layer being locally separated from the substrate to form a cavity between the substrate and the layer, said cavity being herme
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