최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0825117 (2010-06-28) |
등록번호 | US-8431329 (2013-04-30) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 9 인용 특허 : 2 |
Self-aligned spacer multiple patterning method are provided. The methods involve alkaline treatment of photoresist patterns and allow for the formation of high density resist patterns. The methods find particular applicability in semiconductor device manufacture.
1. A self-aligned spacer multiple patterning method, comprising: (a) providing a semiconductor substrate comprising one or more layers to be patterned;(b) applying a first layer of a first photosensitive composition over the one or more layers to be patterned, wherein the first photosensitive compos
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.