최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0786262 (2010-05-24) |
등록번호 | US-8445314 (2013-05-21) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 64 |
A structure and method operable to create a reusable template for detachable thin semiconductor substrates is provided. The template has a shape such that the 3-D shape is substantially retained after each substrate release. Prior art reusable templates may have a tendency to change shape after each
1. A method for creating a plurality of thin semiconductor substrates, said method comprising: forming a reusable template comprising: a semiconductor material; a surface having a 3-D surface topography comprising a plurality of raised areas separated by a plurality of depressed areas, said 3-D surf
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.