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특허 상세정보

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Substrate storage pod with replacement function of clean gas

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) B65B-001/04   
미국특허분류(USC) 141/286; 141/063; 141/098; 206/710; 414/291; 414/935
출원번호 US-0035335 (2011-02-25)
등록번호 US-8522836 (2013-09-03)
우선권정보 JP-2010-041766 (2010-02-26)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
대리인 / 주소
    Oblon, Spivak, McClelland, Maier & Neustadt, L.L.P.
인용정보 피인용 횟수 : 6  인용 특허 : 8
초록
▼

The substrate storage pod includes a pod case which includes a hollow inner space for storing a substrate, and an opening; a lid member which is capable of sealing the opening; an exhaust port for exhausting a replacement gas in the hollow inner space of the pod case; and an exhaust space which is defined in the hollow inner space so as to communicate to the exhaust port. The exhaust space is defined in the hollow inner space by a multi-hole partition member including multiple holes and by an inner surface of the pod case. In the substrate storage pod, b...

대표
청구항
▼

1. A substrate storage pod, comprising: a pod case including an opening and a hollow inner space for storing a substrate;a lid member which is to be fit-inserted into the opening to close and seal the opening;at least two exhaust ports arranged in the pod case so as to exhaust a replacement gas in the hollow inner space; andan exhaust volume extending in a direction of a width of the opening of the pod case, all sides of the exhaust volume being surrounded by a multi-hole partition member including multiple holes, wherein said exhaust volume fluidically ...

이 특허에 인용된 특허 (8)

  1. Miyajima, Toshihiko; Okabe, Tsutomu. Clean box, clean transfer method and system. USP2003116641349.
  2. Tsutomu Okabe JP; Toshihiko Miyajima JP; Hiroshi Igarashi JP. Container and method for sealing the container. USP2002056390145.
  3. Glenn A. Roberson, Jr. ; Robert M. Genco ; Robert B. Eglinton ; Wayland Comer ; Gregory K. Mundt. Molecular contamination control system. USP2002046368411.
  4. Tieben, Anthony Mathius; Halbmeier, David L.; Kolbow, Steven P.. Purge system for a substrate container. USP2012048146623.
  5. Takahashi, Eiji; Amikura, Norihiko. Substrate processing apparatus and substrate processing method. USP2011108043659.
  6. Sumi, Atsushi; Toda, Junya; Nakayama, Takayuki. Substrate storage container. USP2010027658289.
  7. Sumi, Atsushi; Toda, Junya; Nakayama, Takayuki. Substrate storage container. USP2010027658290.
  8. Tokunaga,Kenji. Wafer carrier, wafer conveying system, stocker, and method of replacing gas. USP2006077077173.

이 특허를 인용한 특허 피인용횟수: 6

  1. Takada, Ayato. Article transport facility. USP2017029583370.
  2. Hara, Shiro. Coupling system. USP2016039281223.
  3. Sugawara, Yudo. Lid opening and closing device. USP2015018936050.
  4. Okabe, Tsutomu; Oikawa, Koichiro. Load port device and cleaning gas introducing method into a container on a load port. USP20181010090182.
  5. Smith, Mark V.; Burns, John. Substrate container with purge ports. USP2018069997388.
  6. Okabe, Tsutomu; Igarashi, Hiroshi. Substrate storage pod and lid member thereof, and processing apparatus for a substrate. USP2014118893753.

IPC 상위 출원인