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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0035335 (2011-02-25) |
등록번호 | US-8522836 (2013-09-03) |
우선권정보 | JP-2010-041766 (2010-02-26) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 6 인용 특허 : 8 |
The substrate storage pod includes a pod case which includes a hollow inner space for storing a substrate, and an opening; a lid member which is capable of sealing the opening; an exhaust port for exhausting a replacement gas in the hollow inner space of the pod case; and an exhaust space which is d
1. A substrate storage pod, comprising: a pod case including an opening and a hollow inner space for storing a substrate;a lid member which is to be fit-inserted into the opening to close and seal the opening;at least two exhaust ports arranged in the pod case so as to exhaust a replacement gas in t
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