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Method and apparatus for adjusting radiation spot size 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B23K-026/38
출원번호 US-0336992 (2011-12-23)
등록번호 US-8598488 (2013-12-03)
발명자 / 주소
  • O'Connor, Ciaran John Patrick
  • Hilliard, Shane
  • Summerfield, Leif
출원인 / 주소
  • Electro Scientific Industries, Inc.
인용정보 피인용 횟수 : 3  인용 특허 : 10

초록

An apparatus can include a first beam cropper configured to crop a portion of a radiation pulse having a first spot size to form an intermediate cropped radiation pulse having an intermediate cropped spot with an intermediate cropped spot size less than the first spot size; and a second beam cropper

대표청구항

1. An apparatus comprising: a first beam cropper having a first diaphragm defining a first aperture disposed in a beam transmission path along which a beam of radiation pulses is transmittable, the beam of radiation pulses radiation pulse having a first spot with a first spot size, wherein a first b

이 특허에 인용된 특허 (10)

  1. Hergenhan,Guido; Ziener,Christian; Gaebel,Kai, Arrangement for providing target material for the generation of short-wavelength electromagnetic radiation.
  2. Williams, Roy E.; Freeman, Jerre M.; Freeman, James F., Control system for high resolution high speed digital micromirror device for laser refractive eye surgery.
  3. Luis Antonio Ruiz CO; Eduardo Matallana CO, Controllable liquid crystal matrix mask particularly suited for performing ophthamological surgery, a laser system with said mask and a method of using the same.
  4. Nguyen, Quang-Viet, High-speed electromechanical shutter for imaging spectrographs.
  5. Hasegawa, Takeshi; Ito, Terumi; Shiraki, Hiroyuki, Method and apparatus for evaluating the quality of a semiconductor substrate.
  6. Morris, James H; Powers, Michael; Rieger, Harry, Method and apparatus for laser ablation of a target material.
  7. Hasegawa, Takeshi; Ito, Terumi; Shiraki, Hiroyuki, Method for evaluating the quality of a semiconductor substrate.
  8. Saadatmanesh Vahid (Irvine CA) Loeb Marvin P. (Huntington Beach CA), Multi-head laser assembly.
  9. Marshall John (Farnborough GB3) Raven Anthony L. (Royston GB3) Welford Walter T. (London GB3) Ness Karen M. M. (Royston GB3), Surface erosion using lasers.
  10. Williams, Roy E.; Davis, Jack H., System for generating ablation profiles for laser refractive eye surgery.

이 특허를 인용한 특허 (3)

  1. Loboda, Alexandre, Sample analysis for mass cytometry.
  2. Loboda, Alexandre, Sample analysis for mass cytometry.
  3. Loboda, Alexandre, Sample analysis for mass cytometry.
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