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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0744676 (2008-12-12) |
등록번호 | US-8677925 (2014-03-25) |
우선권정보 | JP-2007-323783 (2007-12-14) |
국제출원번호 | PCT/JP2008/072625 (2008-12-12) |
§371/§102 date | 20100525 (20100525) |
국제공개번호 | WO2009/078351 (2009-06-25) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 3 |
The present invention provides a chamber 1 comprising a chamber section 2 having a substrate processing compartment into which a substrate is loaded for a predetermined processing step, and reinforcing members 3 removably mounted on the discrete outer walls of the chamber section. Each of the reinfo
1. A vacuum chamber comprising: a chamber section for receiving a substrate for a predetermined processing step;a plurality of removable reinforcing members on a plurality of discrete outer walls of the chamber section;an opening formed in a wall surface of the discrete outer walls on a top of the c
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