최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0580473 (2011-01-14) |
등록번호 | US-8723536 (2014-05-13) |
우선권정보 | JP-2010-080071 (2010-03-31) |
국제출원번호 | PCT/JP2011/000161 (2011-01-14) |
§371/§102 date | 20120920 (20120920) |
국제공개번호 | WO2011/121868 (2011-10-06) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 7 인용 특허 : 3 |
Non-contact type displacement sensors which measure the height of a substrate surface are installed above the substrate in order to hold the upper surface of the substrate at a desired height or to maintain the flatness of the substrate. A substrate mounting device is such that a plurality of groove
1. An inspection apparatus for inspecting a substrate, comprising: a substrate mounting device,where the substrate mounting device is a rear surface non-contact type, and includes a holding portion disposed at an outer circumferential portion of the substrate mounting device so as to mount the subst
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.