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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0792664 (2005-12-13) |
등록번호 | US-8753446 (2014-06-17) |
우선권정보 | JP-2004-360094 (2004-12-13) |
국제출원번호 | PCT/JP2005/022867 (2005-12-13) |
§371/§102 date | 20070608 (20070608) |
국제공개번호 | WO2006/064797 (2006-06-22) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 10 |
Evaporated matters and reaction products produced in a furnace can be exhausted without contacting with a graphite crucible and a heater, and an exhaust pipe per se can be maintained at a high temperature to suppress the deposition and condensation of the evaporated matters and reaction products, wh
1. A semiconductor single crystal production device including a chamber in which a crucible for melting a raw material of a semiconductor single crystal, a round-cylindrical heater that is provided around the crucible and that heats the raw-material in the crucible and round-cylindrical heat insulat
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