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Semiconductor single crystal production device and producing method therefor

국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • C30B-015/20
출원번호 US-0792664 (2005-12-13)
등록번호 US-8753446 (2014-06-17)
우선권정보 JP-2004-360094 (2004-12-13)
국제출원번호 PCT/JP2005/022867 (2005-12-13)
§371/§102 date 20070608 (20070608)
국제공개번호 WO2006/064797 (2006-06-22)
발명자 / 주소
  • Noda, Akiko
  • IIda, Tetsuhiro
출원인 / 주소
  • Sumco Techxiv Kabushiki Kaisha
대리인 / 주소
    Handal & Morofsky LLC
인용정보 피인용 횟수 : 0  인용 특허 : 10

초록

Evaporated matters and reaction products produced in a furnace can be exhausted without contacting with a graphite crucible and a heater, and an exhaust pipe per se can be maintained at a high temperature to suppress the deposition and condensation of the evaporated matters and reaction products, wh

대표청구항

1. A semiconductor single crystal production device including a chamber in which a crucible for melting a raw material of a semiconductor single crystal, a round-cylindrical heater that is provided around the crucible and that heats the raw-material in the crucible and round-cylindrical heat insulat

이 특허에 인용된 특허 (10)

  1. Holder John D. ; Johnson Bayard K., Continuous oxidation process for crystal pulling apparatus.
  2. Holder John D. ; Johnson Bayard K., Continuous oxidation process for crystal pulling apparatus.
  3. Kubo, Takayuki; Asano, Hiroshi; Kawahigashi, Fumio; Tsujino, Akira, Crystal growing apparatus.
  4. Lorenzini Robert E. (Atherton CA) Bonora Anthony C. (Atherton CA) Lorenz Karl (Redwood City CA), Crystal growth furnace recharge.
  5. Park Jae-gun,KRX, Czochralski pullers for manufacturing monocrystalline silicon ingots by controlling temperature at the center and edge of an ingot-melt interface.
  6. Park, Jea-gun, Czochralski pullers including heat shield housings having sloping top and bottom.
  7. Cherko, Carl F.; Cook, Robert D., Fluid sealing system for a crystal puller.
  8. Kim Kyong-Min ; Luter William L. ; Ferry Lee W. ; Braun Robert J. ; Ilic Srdjan,ITX ; Dioda Mauro,ITX ; Tosi Paolo,ITX ; Gobbo Marco,ITX ; Martini Umberto,ITX, Heat shield assembly and method of growing vacancy rich single crystal silicon.
  9. Luter William L. ; Ferry Lee W., Heat shield for crystal puller.
  10. Jea-gun Park KR, Insulating-containing ring-shaped heat shields and support members for Czochralski pullers.
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