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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0745691 (2013-01-18) |
등록번호 | US-8795029 (2014-08-05) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 84 |
An endpoint detection method includes processing an outer surface of a substrate, directing an incident light beam through a window in an opaque metal body onto the surface being processed, receiving at a detector a reflected light beam from the substrate and generating a signal from the detector, a
1. An endpoint detection method, comprising: processing an outer surface of a substrate, the processing changing a thickness of a layer at the outer surface over time;during processing, directing an incident light beam through a window in an opaque metal body onto the surface being processed;receivi
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