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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0908774 (2013-06-03) |
등록번호 | US-8808062 (2014-08-19) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 3 인용 특허 : 13 |
A flexible membrane for use in a carrier head has a generally circular main portion with a lower surface, an annular outer portion for connection to a base assembly, and an annular flap extending from the main portion on a side opposite the lower surface for connection to the base assembly. At least
1. A flexible membrane for a carrier head of a chemical mechanical polishing system, comprising: a generally circular main portion with an upper surface and a lower surface to provide a mounting surface for a substrate;an outer annular portion extending upwardly from an outer edge of the main portio
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