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[미국특허] Electromechanical transducer and method for manufacturing the same 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01L-041/22
  • H01L-041/09
출원번호 US-0054106 (2009-04-27)
등록번호 US-8810113 (2014-08-19)
우선권정보 KR-10-2008-0070084 (2008-07-18)
국제출원번호 PCT/KR2009/002182 (2009-04-27)
§371/§102 date 20110114 (20110114)
국제공개번호 WO2010/008133 (2010-01-21)
발명자 / 주소
  • Han, Jae Hung
  • Kang, Lae Hyong
  • Lee, Jong Won
  • Chung, Sang Joon
출원인 / 주소
  • Agency for Defense Development
대리인 / 주소
    Pearne & Gordon LLP
인용정보 피인용 횟수 : 10  인용 특허 : 7

초록

Disclosed is an electromechanical transducer and the method for manufacturing the same, which can detect or control deformation and vibration of a structure and flow of fluids by applying controlling forces. The electromechanical transducer of the present invention comprises a base substrate to whic

대표청구항

1. A method of manufacturing an electromechanical transducer comprising the steps of: applying an initial in-plane stress along a plane of a base substrate (12);installing electrodes (11a, 11b) on the top and bottom side of an electro-active material layer (11) for actuating the electro-active mater

이 특허에 인용된 특허 (7) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. Takeuchi, Yukihisa; Nanataki, Tsutomu; Takeuchi, Katsuyuki, Ceramic diaphragm structure and method for producing the same.
  2. Face ; Jr. Samuel A. ; Clark Stephen E., Method for manufacturing multi-layered high-deformation piezoelectric actuators and sensors.
  3. Yukihisa Takeuchi JP; Koji Kimura JP, Piezoelectric device.
  4. Clingman,Dan J.; Jacot,A. Dean, Single crystal piezo (SCP) apparatus and method of forming same.
  5. Bishop Richard P, Snap-action ferroelectric transducer.
  6. Shibata, Kenji; Oka, Fumihito, Substrate with a piezoelectric thin film.
  7. Hellbaum Richard F. (Hampton VA) Bryant Robert G. (Poquoson VA) Fox Robert L. (Hayes VA), Thin layer composite unimorph ferroelectric driver and sensor.

이 특허를 인용한 특허 (10) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. Hahn, Peter; Ee, Kuen Chee; Zhang, Long, DSA suspension having multi-layer PZT microactuator with active PZT constraining layers.
  2. Hahn, Peter; Ee, Kuen Chee; Zhang, Long, HDD microactuator having reverse poling and active restraining layer.
  3. Zhang, Long; Hahn, Peter; Ee, Kuen Chee, Hard drive suspension microactuator with restraining layer for control of bending.
  4. Dunn, Christopher; Hahn, Peter, Method of manufacturing a multi-layer PZT microactuator using wafer-level processing.
  5. Ee, Kuen Chee; Zhang, Long; Hahn, Peter; Glaess, David, Multi-layer PZT microactuator having a poled but inactive PZT constraining layer.
  6. Ee, Kuen Chee; Zhang, Long; Hahn, Peter; Glaess, David, Multi-layer PZT microactuator having a poled but inactive PZT constraining layer.
  7. Hahn, Peter; Ee, Kuen Chee; Zhang, Long, Multi-layer PZT microactuator with active PZT constraining layer for a DSA suspension.
  8. Hahn, Peter; Ee, Kuen Chee; Dunn, Christopher, Piezoelectric actuator with wrap-around electrode on inactive constraining layer.
  9. Zhang, Long; Hahn, Peter; Ee, Kuen Chee, Piezoelectric microactuator with restraining layer for control of bending.
  10. Hahn, Peter; Ee, Kuen Chee; Dunn, Christopher, Suspension microactuator with wrap-around electrode on inactive constraining layer.

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