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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0425159 (2012-03-20) |
등록번호 | US-8884525 (2014-11-11) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 12 인용 특허 : 20 |
Disclosed herein are systems, methods and apparatuses for dissociating a non-activated gas through a disc-shaped plasma in a remote plasma source. Two inductive elements, one on either side of the disc-shaped plasma, generate a magnetic field that induces electric fields that sustain the disc-shaped
1. A remote plasma source comprising: a first inductive coil having a first plurality of loops, the first plurality of loops having an average radius R1;a second inductive coil having a second plurality of loops, the second plurality of loops having the average radius R1,wherein the first and second
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