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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0650247 (2012-10-12) |
등록번호 | US-8893743 (2014-11-25) |
우선권정보 | JP-2011-227116 (2011-10-14) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 15 |
The flow rate controller controlling a flow rate of gas supplied through a gas passage includes: a main gas pipe; a flow rate detecting unit detecting the flow rate of gas supplied through the main gas pipe and outputting a flow rate signal; a flow rate control valve mechanism controlling a flow rat
1. A processing apparatus which performs processing on a processing target, the processing apparatus comprising: a processing apparatus main body which comprises a processing container accommodating the processing target and performs processing on the processing target;an exhaust system which exhaus
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