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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0284642 (2011-10-28) |
등록번호 | US-9017481 (2015-04-28) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 166 인용 특허 : 149 |
Embodiments related to managing the process feed conditions for a semiconductor process module are provided. In one example, a gas channel plate for a semiconductor process module is provided. The example gas channel plate includes a heat exchange surface including a plurality of heat exchange struc
1. A heat exchanger for a showerhead volume of a semiconductor process module, comprising: a heat exchange plenum assembly comprising a heat exchange fluid director plate and a cover plate; anda gas channel plate including: a heat exchange surface including a plurality of heat exchange structures se
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