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Roller shaft for substrate cleaning 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • 08-99
출원번호 US-0461043 (2013-07-18)
등록번호 US-D728177 (2015-04-28)
우선권정보 JP-2013-002015 (2013-02-01)
발명자 / 주소
  • Ishibashi, Tomoatsu
  • Kojima, Hiroshi
출원인 / 주소
  • Ebara Corporation
대리인 / 주소
    Pearne & Gordon LLP
인용정보 피인용 횟수 : 4  인용 특허 : 32

초록

초록이 없습니다.

대표청구항

The ornamental design for a roller shaft for substrate cleaning, as shown and described.

이 특허에 인용된 특허 (32)

  1. Minnick, Randy, Apparatus and method for tightening or loosening toilet seat.
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  2. Brunelli Shon ; Kennedy Timothy ; Ludwig Bryan, Brush alignment platform.
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  3. Manfredi Paul A. ; Morris Raymond G., Brush conditioner for a semiconductor cleaning brush.
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  4. Farber, Jeffrey J.; Pena, Christopher; Orbeta, Edward, Brush core assembly.
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  5. McKenna John M. (Port Murray NJ), Bushing.
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  6. Idani, Naoki, Cleaning apparatus and cleaning method for wafer.
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  7. Murakami, Seigo; Ishii, Hiroshi; Yamada, Norio; Nose, Hidetoshi; Aoyama, Fujio, Cleaning member and cylindrical cleaning element.
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  8. Gohda, Shuki; Ide, Masao; Tokunaga, Konomu, Cleaning rotary brush.
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  9. Bejtlich, III, Chester L., Cleaning sponge roller.
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  10. Mihara, Koji; Gohda, Shuki; Ide, Masao; Igarashi, Koei; Tokunaga, Konomu; Miyaji, Hiroshi, Cleaning sponge roller.
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  11. Linares, Rodolfo, Detent washer.
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  12. Dong Kwan Ma KR; Young Ki Yoon KR, Device for controlling the height of a swivel chair.
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  13. Rashidi, Hamid, Donut shaped drop opal lens trim.
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  14. Pinedo, Javier, Dryer tube filter.
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  15. Drury, Thomas J., Foam composition roller brush with embedded mandrel.
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  16. Frieberg Bengt O. (869 Picaacho La Habra Heights CA 90631), Lock washer.
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  17. Benson, Briant Enoch, Methods and materials for making a monolithic porous pad cast onto a rotatable base.
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  18. Wargo, Christopher; LeBlanc, Thomas, Molded rotatable base for a porous pad.
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  19. Sin, Garrett H.; Ko, Terry Kin-Ting; Huey, Sidney P., Post CMP scrubbing of substrates.
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  20. Ishibashi, Tomoatsu, Roller for semiconductor wafer cleaning.
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  21. Ishibashi, Tomoatsu; Oikawa, Fumitoshi; Tanaka, Hideaki; Hombo, Teruaki, Roller shaft for semiconductor cleaning.
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  22. Damshak, David; Goldman, Izikim; Zur, Eran; Litvak, Ran; Tikochinsky, Yoav, Self-powered robotic lawn mower.
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  23. Howard Steve R., Sewing machine adapter.
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  24. Kennedy, Melvin R.; Longoria, Jose, Spool.
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  25. Perkitny,Jerzy, Spool for bags.
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  26. Andros, Nicholas, Surface charge controlling apparatus for wafer cleaning.
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  27. Roth Samuel O. (West Liberty OH), Tank cleaning spray head.
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  28. Uldis Artis Ziemins ; Jose M. Ocasio ; Raymond M. Khoury ; David Goodwin, Wafer cleaning brush profile modification.
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  29. Garcia Alejandro ; Krick Brent ; Nichtawitz Anthony,PEX ; Nordeen Daniel ; Oen Josh ; Smith Kenneth ; Suro Vincent ; Wolf Daniel, Wafer cleaning system.
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  30. Dickey Tanlin ; Svirchevski Julia S. ; Anderson Donald E. ; Ravkin Mike ; Treichel Helmuth W. ; Pascal Roy Winston ; Gardner Douglas S., Wafer scrubbing brush core.
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  31. Yamazaki, Tadayoshi, Washer.
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  32. Goto Masami,JPX ; Kobayashi Toshio,JPX ; Ohsaki Hiroshi,JPX ; Kojima Hiroshi,JPX ; Shimuba Masaaki,JPX, Wiper device for vehicle.
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이 특허를 인용한 특허 (4)

  1. Rebar, Peter D., Breech plug cleaning tool.
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  2. Eberl, John; Beck, Corey; Hartman, George, Rooftop support base.
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  3. Hill, Jonathan A., Shimless spacer.
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  4. Hill, Jonathan A., Shimless spacer.
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