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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0703552 (2015-05-04) |
등록번호 | US-9263309 (2016-02-16) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 92 |
The present invention provides methods and apparatus capable of routine placement and replacement of fabricator tools in a designated tool location. The tool location can be selected from multiple tool locations arranged in a matrix with horizontal and vertical designations. The operation may be ful
1. An apparatus for a Cleanspace fabricator comprising: a multilevel environment;a vertically oriented cleanspace, wherein the multilevel environment is on a periphery of the vertically oriented cleanspace;multiple processing tools, wherein said multiple processing tools are oriented in the multilev
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