최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0955020 (2010-11-29) |
등록번호 | US-9271341 (2016-02-23) |
우선권정보 | JP-2010-200845 (2010-09-08) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 1 인용 특허 : 95 |
Provided is a heat treatment apparatus that even when annealing SiC at high temperature, can exhibit a low heat capacity and perform uniform heating. The heat treatment apparatus includes a pair of parallel plate electrodes, high-frequency power supply that applies a high-frequency voltage to the pa
1. A heat treatment apparatus comprising: a heat treatment chamber in which a sample to be heated is heat treated;a planar first electrode disposed in the heat treatment chamber;a planar second electrode, which is facing the first electrode, on which the sample in mounted, disposed in the heat treat
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.