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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0502689 (2006-08-12) |
등록번호 | US-9339900 (2016-05-17) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 95 |
The present invention provides various aspects of support for a fabrication facility capable of routine placement and replacement of processing tools. Support aspects include support structure for processing tools, a clean environment carrier for a single substrate, and a quick disconnect flange whi
1. A fab for processing a substrate, the fab comprising: a primary cleanspace, a secondary space independent of the cleanspace, and a first wall between the primary cleanspace and the secondary space;a first processing tool comprising a tool body and a tool port, the first processing tool configured
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