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Article storage facility and article storage method 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01L-021/677
  • A47B-081/00
  • H01L-021/673
출원번호 US-0310282 (2014-06-20)
등록번호 US-9364086 (2016-06-14)
우선권정보 JP-2013-134266 (2013-06-26)
발명자 / 주소
  • Takahara, Masahiro
  • Ueda, Toshihito
출원인 / 주소
  • Daifuku Co., Ltd.
대리인 / 주소
    The Webb Law Firm
인용정보 피인용 횟수 : 1  인용 특허 : 11

초록

Proper article storage management is made possible in the article storage facility which stores articles in containers and in an inactive gas environment. The article storage facility includes a storage rack having storage sections, a transport portion which transports containers to the storage sect

대표청구항

1. An article storage facility comprising: a storage rack having a plurality of storage sections arranged with regularity;a transport portion which carries in airtight containers to the storage sections and carries out the airtight containers from the storage sections;gas supplying portions which su

이 특허에 인용된 특허 (11)

  1. Murata, Masanao; Maetaki, Susumu, Container transport system and measurement container.
  2. Paul E. Lewis ; Adel George Tannous ; Karl A. Davlin, Method and apparatus for processing tool interface in a manufacturing environment.
  3. Glenn A. Roberson, Jr. ; Robert M. Genco ; Robert B. Eglinton ; Wayland Comer ; Gregory K. Mundt, Molecular contamination control system.
  4. Roberson ; Jr. Glenn A. ; Genco Robert M. ; Eglinton Robert B. ; Comer Wayland ; Mundt Gregory K., Molecular contamination control system.
  5. Roberson ; Jr. Glenn A. ; Genco Robert M. ; Eglinton Robert B. ; Comer Wayland ; Mundt Gregory K., Molecular contamination control system.
  6. Roberson ; Jr. Glenn A. ; Genco Robert M. ; Eglinton Robert B. ; Comer Wayland ; Mundt Gregory K., Molecular contamination control system.
  7. Kimura, Yoshio; Ueda, Issei; Matsushita, Mitiaki; Ito, Kazuhiko, Substrate processing apparatus and substrate processing method.
  8. Yoshio Kimura JP; Issei Ueda JP; Mitiaki Matsushita JP; Kazuhiko Ito JP, Substrate processing apparatus and substrate processing method.
  9. Speasl, Jerry A.; Dante, Edward, Transportable container including an internal environment monitor.
  10. Speasl,Jerry A.; Dante,Edward, Transportable container including an internal environment monitor.
  11. Fosnight, William J.; Waite, Stephanie; Miner, Stephen B.; Robinson, John, Wafer carrier purge apparatuses, automated mechanical handling systems including the same, and methods of handling a wafer carrier during integrated circuit fabrication.

이 특허를 인용한 특허 (1)

  1. Omori, Kazuya, Storage rack.
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