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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0980469 (2015-12-28) |
등록번호 | US-9442368 (2016-09-13) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 3 |
The present disclosure relates to a method of forming an extreme ultraviolet (EUV) pellicle having an pellicle film connected to a pellicle frame without a supportive mesh, and an associated apparatus. In some embodiments, the method is performed by forming a cleaving plane within a substrate. A pel
1. A method for forming a pellicle, comprising: forming a cleaving plane within a substrate;attaching a pellicle frame to an upper surface of the substrate; andcleaving the substrate along the cleaving plane to form a pellicle film attached to the pellicle frame. 2. The method of claim 1, further co
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