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Micromechanical measuring element and method for producing a micromechanical measuring element 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01D-011/24
  • G01L-019/14
  • B81B-007/00
  • B23K-001/00
  • G01P-001/02
출원번호 US-0383857 (2013-03-08)
등록번호 US-9506831 (2016-11-29)
우선권정보 DE-10 2012 102 021 (2012-03-09)
국제출원번호 PCT/EP2013/054725 (2013-03-08)
국제공개번호 WO2013/132065 (2013-09-12)
발명자 / 주소
  • Schiffer, Michael
  • Peschka, Andreas
  • Zapf, Jörg
  • Weidner, Karl
  • Hedler, Harry
출원인 / 주소
  • EPCOS AG
대리인 / 주소
    Slater Matsil, LLP
인용정보 피인용 횟수 : 0  인용 특허 : 16

초록

A micromechanical measuring element includes a carrier and a sensitive element connected to the carrier by a first solder connection and a second solder connection. The sensitive element is contacted electrically by the first solder connection. The sensitive element, the carrier and the second solde

대표청구항

1. A micromechanical measuring element, comprising: a carrier;a sensitive element connected to the carrier by a first solder connection and a second solder connection, wherein the sensitive element is electrically contacted by the first solder connection;elastomer bodies arranged between the sensiti

이 특허에 인용된 특허 (16)

  1. Bryzek Janusz ; Burns David W. ; Nasiri Steven S. ; Cahill Sean S., Compensated semiconductor pressure sensor.
  2. Pahl, Wolfgang, Component comprising a chip in a cavity and a stress-reduced attachment.
  3. Scholz Kenneth D. (4150 Willmar Dr. Palo Alto CA 94306), Compressive bump-and-socket interconnection scheme for integrated circuits.
  4. Ricks, Lamar F., Differential pressure sense die based on silicon piezoresistive technology.
  5. Bearinger Clayton R. (Midland MI) Camilletti Robert C. (Midland MI) Kilby Jack S. (Dallas TX) Haluska Loren A. (Midland MI) Michael Keith W. (Midland MI), Flip chip silicone pressure sensitive conductive adhesive.
  6. Conn, Robert O.; Carey, Steven J., Flip-chip package having thermal expansion posts.
  7. Tsukamoto Kenji (Tokyo JPX), Interconnection structure of electronic parts.
  8. Knecht Thomas A. (Eden Prairie MN) Romo Mark G. (Richfield MN), Media isolated differential pressure sensors.
  9. Munroe Robert A. ; Greer Stuart E., Method for forming interconnect bumps on a semiconductor die.
  10. Lee, Jin Yuan; Lei, Ming Ta; Huang, Ching-Cheng; Lin, Chuen-Jye, Method of making a low fabrication cost, high performance, high reliability chip scale package.
  11. Ding, Xiaoyi; Frye, Jeffrey J.; Chiou, Jen-Huang Albert, Pressure sensor for harsh media sensing and flexible packaging.
  12. Kitano Makoto,JPX ; Kohno Ryuji,JPX ; Tanaka Naotaka,JPX ; Yaguchi Akihiro,JPX ; Kumazawa Tetsuo,JPX ; Anjoh Ichiro,JPX ; Tanaka Hideki,JPX ; Nishimura Asao,JPX ; Eguchi Shuji,JPX ; Nagai Akira,JPX ;, Semiconductor device.
  13. Higgins ; III Leo M. (Austin TX), Semiconductor device having compliant columnar electrical connections.
  14. Theuss,Horst, Semiconductor device with sensor and/or actuator surface and method for producing it.
  15. Caletka, David Vincent; Darbha, Krishna; Henderson, Donald W.; Lehman, Lawrence P.; Thiel, George Henry, Structure to accommodate increase in volume expansion during solder reflow.
  16. Sooriakumar K. (Scottsdale AZ) Monk David J. (Mesa AZ) Chan Wendy K. (Scottsdale AZ) Goldman Kenneth G. (Chandler AZ), Vertically integrated sensor structure and method.
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