$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

Thin film deposition apparatus 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • C23C-016/52
  • C23C-014/04
  • C23C-014/12
  • C23C-014/24
  • H01L-051/00
  • H01L-051/56
출원번호 US-0203212 (2014-03-10)
등록번호 US-9624580 (2017-04-18)
우선권정보 KR-10-2009-0081979 (2009-09-01); KR-10-2010-0014276 (2010-02-17)
발명자 / 주소
  • Choi, Young-Mook
  • Jo, Chang-Mog
  • Kang, Hee-Cheol
  • Park, Hyun-Sook
출원인 / 주소
  • Samsung Display Co., Ltd.
대리인 / 주소
    Lewis Roca Rothgerber Christie LLP
인용정보 피인용 횟수 : 0  인용 특허 : 29

초록

A method for forming a thin film on a substrate includes discharging a deposition material from a deposition source through a plurality of deposition source nozzles arranged in a first direction on a deposition source nozzle unit disposed at a side of the deposition source; passing the deposition ma

대표청구항

1. A method for forming a thin film on a substrate, the method comprising: discharging a deposition material from a deposition source through a plurality of deposition source nozzles arranged in a first direction on a deposition source nozzle unit disposed at a side of the deposition source;passing

이 특허에 인용된 특허 (29)

  1. Fukasawa, Takayuki; Moon, Yeon-Keon; Sohn, Sang-woo; Kishimoto, Katsushi; Shin, Sang-Won, Apparatus for transferring substrate.
  2. Yeo, Yeongjin; Choi, Seungheon; Lee, Geejo, Apparatus for transferring substrates.
  3. Kim, Hun; Park, Jin-Woo, Deposition apparatus.
  4. Forrest Stephen R. ; Burrows Paul ; Garbuzov Dmitri Z., Displays having mesa pixel configuration.
  5. Hazelton Andrew J., Driving motors attached to a stage that are magnetically coupled through a chamber.
  6. Hofmeister, Christopher; Caveney, Robert T., Linear substrate transport apparatus.
  7. Totsch John W. (R.R. 1 Box 1484A Sheldon VT 05483), Magnetic conveyor system for transporting wafers.
  8. Ono Yoshinobu (Kawasaki JPX) Watanabe Yoshio (Kawasaki JPX) Tanida Shinjiro (Kawasaki JPX), Magnetic levitating transportation apparatus with rail gap sensor and non-parallel magnet unit arrangement.
  9. Ono Yoshinobu (Kawasaki JPX) Watanabe Yoshio (Kawasaki JPX) Tanida Shinjiro (Kawasaki JPX) Kojima Tadayuki (Kawasaki JPX), Magnetic levitating transporting apparatus with a movable magnetic unit.
  10. Fiske, Orlo James; Chen, Chen; Ricci, Michael Richard; Paden, Bradley Evan, Magnetically levitated transportation system and method.
  11. Byun,Yong Sang; Park,Moo Yeol; Jung,Sung Su, Mask holder for irradiating UV-rays.
  12. Miyauchi Tateoki (Yokohama JPX) Yamaguchi Hiroshi (Fujisawa JPX) Hongo Mikio (Yokohama JPX) Mizukoshi Katsuro (Yokohama JPX) Shimase Akira (Yokohama JPX) Satoh Ryohei (Yokohama JPX), Method and apparatus for forming film by ion beam.
  13. Kakinuma, Masayasu, Method and apparatus for manufacturing flexible organic EL display.
  14. Takagi, Kazunari; Nakamura, Kazuo, Organic EL display and method of manufacturing the same.
  15. Himeshima, Yoshio; Fujimori, Shigeo; Kohama, Akira, Organic electroluminescent device.
  16. Shinozaki Hiroyuki (Kanagawa-ken JPX) Kondo Fumio (Kanagawa-ken JPX) Mori Satoshi (Kanagawa-ken JPX) Matsumura Masao (Kanagawa-ken JPX) Yoshioka Takeshi (Kanagawa-ken JPX), Positioning system with damped magnetic attraction stopping assembly.
  17. Ishizawa, Shigeru; Saeki, Hiroaki, Processed body carrying device, and processing system with carrying device.
  18. Kadunce Randy R. ; Dishart Peter T. ; Shumaker ; Jr. Robert T., Reusable mask and method for coating substrate.
  19. Joong Ho Choi KR, Scent diffusion apparatus and method.
  20. Kim, Chang Nam, Shadow mask and flat display fabricated by using the same and method for fabricating the same.
  21. Dautartas Mindaugas Fernand, Shadow mask deposition.
  22. Ohzeki Hisao,JPX, Stage construction incorporating magnetically levitated movable stage.
  23. Hofmeister, Christopher; Caveney, Robert T., Substrate processing apparatus.
  24. Suzuki Keizo (Kodaira JPX) Ninomiya Ken (Hachioji JPX) Nishimatsu Shigeru (Kokubunji JPX) Okada Osami (Chofu JPX), Surface treatment apparatus.
  25. Wu Xin Di ; Wang Youqi ; Goldwasser Isy, Systems and methods for the combinatorial synthesis of novel materials.
  26. Van Slyke, Steven A., Thermal physical vapor deposition apparatus with detachable vapor source(s) and method.
  27. Klug, Justin H.; Ghosh, Syamal K.; Carlton, Donn B., Thermal physical vapor deposition source using pellets of organic material for making OLED displays.
  28. Kang, Hee-Cheol; Park, Hyun-Sook; Ryu, Jae-Kwang; Choi, Yong-Sup; Lee, Yun-Mi; Kim, Sang-Soo, Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same.
  29. Wolf Hans,DEX ; Hinterschuster Reiner,DEX ; Kemmerer Guenter,DEX, Transport device for workpieces in a vacuum system.
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로