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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0980580 (2015-12-28) |
등록번호 | US-9675429 (2017-06-13) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 3 인용 특허 : 173 |
An apparatus is described for measuring surface topography of a three-dimensional structure. In many embodiments, the apparatus is configured to focus each of a plurality of light beams to a respective fixed focal position relative to the apparatus. The apparatus measures a characteristic of each of
1. An apparatus for measuring surface topography of a three-dimensional structure, the apparatus comprising: an optical probe moveable relative to the three-dimensional structure;an illumination unit configured to generate a plurality of incident light beams, each of the plurality of incident light
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