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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0688778 (2015-04-16) |
등록번호 | US-9802749 (2017-10-31) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 57 |
Fluid supply systems for storage and dispensing of chemical reagents and compositions, e.g., high purity liquid reagents and chemical mechanical polishing compositions used to manufacture microelectronic device products, having capability for detection of an empty or near-empty condition when the co
1. A fluid storage and dispensing system, comprising: a vessel having an interior volume;a liner in said interior volume, said liner arranged to contain a liquid medium;a pressure assembly adapted to apply a pressure to the liner for pressure dispensing of the liquid medium from the liner;a dispense
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