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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0528194 (2012-06-20) |
등록번호 | US-9869392 (2018-01-16) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 106 |
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1. A lower electrode assembly useful for supporting a semiconductor substrate in a plasma processing chamber comprising: a temperature controlled lower base plate, an upper plate, and a mounting groove surrounding a bond layer located between the temperature controlled lower base plate and the upper
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