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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | 15294950 (2016-10-17) |
등록번호 | 10395963 (2019-08-27) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 0 |
In accordance with an embodiment of the invention, there is provided an electrostatic chuck comprising an electrode, and a surface layer activated by a voltage in the electrode to form an electric charge to electrostatically clamp a substrate to the electrostatic chuck. The surface layer includes a
1. An electrostatic chuck comprising: an electrode; anda surface layer activated by a voltage in the electrode to form an electric charge to electrostatically clamp a substrate to the electrostatic chuck, the surface layer including:(i) a dielectric comprising a bulk resistivity greater than about 1
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