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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | 15505944 (2015-08-20) |
등록번호 | 10509422 (2019-12-17) |
우선권정보 | JP-2014-177063 (2014-09-01) |
국제출원번호 | PCT/JP2015/073323 (2015-08-20) |
국제공개번호 | WO2016/035558 (2016-03-10) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 0 |
A mass flow controller includes a flow meter, a mechanical pressure-regulating valve disposed adjacent to and on an upstream side of the flow meter, and a flow control valve disposed on a downstream side of the flow meter. The mechanical pressure-regulating valve is embedded in a base of the mass fl
1. A mass flow controller comprising: a base;a flow meter mounted on said base;a mechanical pressure-regulating valve embedded in said base and disposed adjacent to and on an upstream side of said flow meter; anda flow control valve mounted on said base and disposed on a downstream side of said flow
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