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NTIS 바로가기국가/구분 | WIPO(WO) A1 공개 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | JP-0302082 (2006-02-07) |
공개번호 | WO-6087942 (2006-08-24) |
우선권정보 | JP 2005-037746 20050215 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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This invention provides a seal material for a semiconductor production apparatus, comprising, as a rubber component, 80 to 50% by weight of an ethylene tetrafluoride-perfluoroalkyl vinyl ether perfluoroelastomer (FFKM) and 20 to 50% by weight of a fluororubber (FKM) other than FFKM, provided that FF
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