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NTIS 바로가기국가/구분 | WIPO(WO) A1 공개 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0042538 (2013-05-23) |
공개번호 | WO-0177472 (2013-11-28) |
우선권정보 | US-201213479148 (2012-05-23); US-201313802112 (2013-03-13) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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CMP pad dressers having leveled tips and associated methods are provided. In one aspect, for example, a method can include pressing a CMP pad dresser against a CMP pad, where the dresser includes a monolayer of a plurality of superabrasive particles protruding from a matrix layer. The difference in
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