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NTIS 바로가기국가/구분 | WIPO(WO) A3 공개 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0068595 (2012-12-07) |
공개번호 | WO-0086432 (2013-08-22) |
우선권정보 | US-201161568129 (2011-12-07) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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A system for transporting substrates from an atmospheric pressure to high vacuum pressure and comprising: a rough vacuum chamber having an entry valve and an exit opening; a high vacuum chamber having an entry opening, the high vacuum chamber coupled to the rough vacuum chamber such that the exit op
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