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NTIS 바로가기국가/구분 | WIPO(WO) A1 공개 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US2020/033450 (2020-05-18) |
공개번호 | 2020/242805 (2020-12-03) |
우선권정보 | 16/422,511 (2019-05-24) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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A damper for a semiconductor metrology or inspection system includes a pair of parallel plates with a fluid with a variable viscosity retained between plates. At least one wire is disposed between the plates, which may include one or more sets of lands and grooves. In some implementations, both plat
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