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NTIS 바로가기국가/구분 | WIPO(WO) A1 공개 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US2021/057904 (2021-11-03) |
공개번호 | 2022/119683 (2022-06-09) |
우선권정보 | 17/110,210 (2020-12-02) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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The light from an optical metrology device is focused into a measurement spot on a sample using a focusing system. The focusing system uses an image of the light reflected from the measurement spot to determine a best focal position at a desired position of the sample. The focusing system selects a
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