초록 ▼

□ 지금까지 의료분야, 바이오분야 및 기타 산업분야에서 광학관련기기에 빛의 전달 방법으로 광섬유가 매우 유용하게 사용되어 왔다. 광이 전달되는 경로가 플렉시블해서 자유자재로 빛을 보내거나 받는 일이 절대적으로 편리하기 때문이다.

□ 최근 나노기술의 비약적 발전은 광학적인 관점에서 볼 때 보다 파장이 짧은 빛의 응용이 반드시 필요하다는 의미이며, 자외선보다 더 짧은 자외선(Deep-UV)의 요구가 급격히 확산되어 가고 있다.

□ 종래의 실리카 광섬유는 Deep-UV과 근적외선 영역에

□ 지금까지 의료분야, 바이오분야 및 기타 산업분야에서 광학관련기기에 빛의 전달 방법으로 광섬유가 매우 유용하게 사용되어 왔다. 광이 전달되는 경로가 플렉시블해서 자유자재로 빛을 보내거나 받는 일이 절대적으로 편리하기 때문이다.

□ 최근 나노기술의 비약적 발전은 광학적인 관점에서 볼 때 보다 파장이 짧은 빛의 응용이 반드시 필요하다는 의미이며, 자외선보다 더 짧은 자외선(Deep-UV)의 요구가 급격히 확산되어 가고 있다.

□ 종래의 실리카 광섬유는 Deep-UV과 근적외선 영역에서는 큰 흡수가 일어난다. 더구나 Deep-UV에 대한 투과율의 열화가 심하기 때문에 Deep-UV 영역에서의 응용이 제한적이었다. 불소첨가 실리카 광섬유의 개발로 여러 분야에 걸친 용도의 확산과 이를 이용한 장비의 개발에 활기를 띄고 있어 파생되는 분야에의 많은 연구 참여가 예상된다.

□ 불소를 첨가해서 개발한 실리카 광섬유가 · Deep-UV에서부터 근적외선에 걸쳐 고르게 투과를 하고 ․투과율의 열화가 일어나지 않으며 · ArF (193nm) 레이저의 파장에서 80%정도의 투과율을 나타낸다. 보다 깊은 물성규명을 통하여 보다 넓은 파장대, 보다 높은 조사내구성, 보다 높은 투과율의 개발을 위한 연구가 가능할 것으로 생각된다.