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NTIS 바로가기등록일자 | 2006-03-31 |
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출처 | RESEAT |
URL | https://www.reseat.or.kr/portal/cmmn/file/fileDown.do?menuNo=200019&atchFileId=21bc000c20d54f1d97821465c311510c&fileSn=1&bbsId= |
○ 나노기술 또는 미세 전자재료 물질들의 다양한 개발 추세에 따라서, 이들의 융합기술인 유기물 막을 사용하는 전자재료 물질의 제조와 분석을 위한 적절한 특성 분석기술의 개발이 요구되고 있다. 박막의 분석과 측정을 위한 기술로서 ATR, RAIRS 등이 이미 오래 전부터 사용되고 있었으나, 이들은 수평분해능과 감도면에서 나노기술에서 필요한 수준인 수~수십nm 두께의 유기물 막을 측정하고 분석함에는 한계가 있었다.
○ 첨단 광원인 적외선 싱크로트론 방사광을 사용하여 우수한 수평분해능과 단층감도를 가진 박막분석기술의
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