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NTIS 바로가기등록일자 | 2010-02-08 |
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출처 | RESEAT |
URL | https://www.reseat.or.kr/portal/cmmn/file/fileDown.do?menuNo=200019&atchFileId=c03a7773e7874ed68b5bfc7eb01f4f0b&fileSn=1&bbsId= |
○ 플라즈마(Plasma)의 종류는 수없이 많이 있으며, 일상생활에서 플라즈마 현상에 가장 가까운 현상은 형광등이다. 그 밖에 번개, 극지방에서 나타나는 오로라, 태양 내부 등이 플라즈마 상태다. 산업적으로 사용되는 플라즈마는 저온 플라즈마와 열 플라즈마로 나눌 수 있는데, 저온 플라즈마의 경우 반도체 제조 공정에서 가장 널리 사용되고 있으며, 열 플라즈마는 절단, 용사에 응용되고 있다.
○ 열 플라즈마(Thermal plasma)는 주로 아크 방전에 의해 발생시킨 전자, 이온, 중성입자(원자 및 분자)로 구
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