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NTIS 바로가기등록일자 | 2010-08-23 |
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출처 | RESEAT |
URL | https://www.reseat.or.kr/portal/cmmn/file/fileDown.do?menuNo=200019&atchFileId=7d7eab5771354cd78a959c5d5fd49fef&fileSn=1&bbsId= |
○ 디스플레이 제조 및 검사장비에서 기본시스템으로 핵심 구동시스템인 초정밀 스테이지를 들 수 있다. 장비가 대형화될수록 고도화된 기술을 요하는 고 정밀 시스템은 재료의 응용기술 없이는 접근이 어려운 분야이다. 이러한 초정밀 스테이지 장비는 정반이라는 기초소재의 고 정밀 가공기술을 통하여 가능하게 된다.
○ 정반은 단순한 받침돌의 의미가 아닌 LCD 장비와 같은 초정밀 공정이 필요한 생산 및 검사장비에서 완전한 평면을 유지하고 진동과 변형을 방지하는 기능을 수행하는 기초소재이다. 지금까지 정반재료는 주철과 천연석
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