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NTIS 바로가기등록일자 | 2010-12-08 |
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출처 | RESEAT |
URL | https://www.reseat.or.kr/portal/cmmn/file/fileDown.do?menuNo=200019&atchFileId=90b4432074354166ba2b3224e266081c&fileSn=1&bbsId= |
○ SPM(Scanning Probe Microscopy)은 스위스 취리히 IBM연구소의 Binning, Rohrer에 의해 1981년에 개발되었고, 처음으로 개발된 SPM은 STM(Scanning Tnneling Microscopy)으로 전도성 물질의 표면분석에 이용되었다. 3년 후에 Stanford 대학의 Quate 교수가 합류하여 비전도성 물질도 분석 가능한 AFM(Atomic Force Microscopy)을 개발하였다. 이러한 SPM은 특히 최근의 나노기술에서 평가 및 분자조작기술 에서 필수 도구가 되고 있다. SPM의 수
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