최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기등록일자 | 2012-02-14 |
---|---|
출처 | RESEAT |
URL | https://www.reseat.or.kr/portal/cmmn/file/fileDown.do?menuNo=200019&atchFileId=402eac3c56ea4e67b6dd68af3dc5f4c0&fileSn=1&bbsId= |
○ 최신 디바이스나 반도체 등이 우수한 성능을 발휘하려면 초대규모집적회로(ULSI)용 저저항율 Cu배선재료나 -FeSi2 반도체의 Fe, high-k 재료인 Hf, La 등의 고순도산화물, 게이트 전극재료에 고융점 Ta 등이 고순도의 금속소재가 요구되고 있으므로 초고순도 정제기술이 필요하다.
○ 품위가 5N 이상의 순철 정제법은 전해철을 염산에 용해시켜서 음이온교환정제법으로 회수한 초고순도 FeCl2 수용액을 산화 및 NH4OH로 중화하여 수산화철을 회수하는 공정에서 수산화물의 결정형태와 입자크기 및 단
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.