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NTIS 바로가기등록일자 | 2012-03-22 |
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출처 | RESEAT |
URL | https://www.reseat.or.kr/portal/cmmn/file/fileDown.do?menuNo=200019&atchFileId=60f9e2357c80444ba99e956c6fc78430&fileSn=1&bbsId= |
○ SEM을 이용하여 시료의 표면을 관찰할 수 있으나 시료 내부의 정보는 얻을 수 없다. TEM으로 시료의 절편을 관찰하므로 시료 내부에 대한 정보를 얻을 수 있으나 시료의 전처리 과정이 필요하다. 이온빔은 이온 원에서 인출한 이온을 집속하여 시료 위에 충돌시켜서 시료와의 스퍼터링 현상에 의하여 시료를 가공하는 원리이므로 시료의 손상이 문제가 된다. 결정구조의 손상을 줄이기 위해서 다양한 방법이 제안되고 있다.
○ 최근에 상용화되는 이중 빔 장치는 2개의 빔을 사용하여 FIB 작업 후에 시료표면을 전자빔
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