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NTIS 바로가기등록일자 | 2012-05-14 |
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출처 | RESEAT |
URL | https://www.reseat.or.kr/portal/cmmn/file/fileDown.do?menuNo=200019&atchFileId=3d0e3721578e43cbb43ed34847a0af9c&fileSn=1&bbsId= |
○ 전자빔을 시료에 2차원적으로 주사하면서 시료를 투과한 전자를 검출하여 결상(imaging)하는 주사투과형 전자현미경(STEM)의 기능은 이미 1970년대에 실험적으로 실증되었었다. 그러나 실용화는 오랫동안 지체되 어 오다가 1990년대 후반에 출현한 전계방츨전자총(FEG, Field Emission Gun)과 2000년 이후에 개발된 수차보정렌즈(abrration corrected lens)의 보급으로 분해능이 비약적으로 향상됨에 따라 본격적으로 이용되기 시작하였다.
○ 비회전 다극자 렌즈를 다단으로
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