초록 ▼

이상에서의 분석을 요약하면, 고온에서, 다결정 TiN 표면의 각 결정립의 국부적 산소 활성도와 진공에서의 활성도는 결정의 방위에 영향을 받는다. 조대한 산화물은 (100)면에서 더 잘 성장한다. 산화물의 크기와 밀도에 근거한 산화 활성도의 순서는 ν(1 0 0) > ν(1 1 0) > ν(1 1 1)이다. TiN (111)의 상대적 안정성은 최상층의 Ti-Ti금속결합의 증진에 의한 것과 최상층에 활동도가 높은 격자점이 적기 때문으로 설명된다. 또한 산화물과 기판간의 결정학적 상관관계도 중요한 역할을 하는 것으로 생각되

이상에서의 분석을 요약하면, 고온에서, 다결정 TiN 표면의 각 결정립의 국부적 산소 활성도와 진공에서의 활성도는 결정의 방위에 영향을 받는다. 조대한 산화물은 (100)면에서 더 잘 성장한다. 산화물의 크기와 밀도에 근거한 산화 활성도의 순서는 ν(1 0 0) > ν(1 1 0) > ν(1 1 1)이다. TiN (111)의 상대적 안정성은 최상층의 Ti-Ti금속결합의 증진에 의한 것과 최상층에 활동도가 높은 격자점이 적기 때문으로 설명된다. 또한 산화물과 기판간의 결정학적 상관관계도 중요한 역할을 하는 것으로 생각되어 이에 관한 연구가 진행 중이다.