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NTIS 바로가기등록일자 | 2013-04-15 |
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출처 | RESEAT |
URL | https://www.reseat.or.kr/portal/cmmn/file/fileDown.do?menuNo=200019&atchFileId=bfa8f31a56ed46ffa3fbb8184ec73e0c&fileSn=1&bbsId= |
○ 1956년 Wehner는 스퍼터링의 발생원리가 이온 충돌에 의한 것으로 결론을 내렸다. 1969년 P. Sigmund 스퍼터링 현상에 대해서 많은 모델과 실험결과를 기초로 정상선형 캐스케이드 이론(linear steady collision cascade theory)을 완성시켜 오늘날의 스퍼터 이론의 기초를 확립하였다. 현재 이온이 고체에 충돌해서 발생하는 스퍼터팅 계산은 주로 몬테카를로 시뮬레이션 방식을 사용하고 있다.
○ 스퍼터링 현상에 대한 이슈는 크게 2가지가 있다. 첫째 분자이온
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