[보고서]바이오와 마이크로·나노 칩의 융합

박장선

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보고서 정보
등록일자	2013-07-01
출처	RESEAT
URL	https://www.reseat.or.kr/portal/cmmn/file/fileDown.do?menuNo=200019&atchFileId=b9b524f0c85b444ea4a567838caa0ec2&fileSn=1&bbsId=

초록

MEMS는 반도체 미세가공기술을 이용하여 미소한 기계부품과 전자회로를 집적한 구조로서 고성능이면서 에너지절약형 시스템이다. 현재 전자, 기계, 광, 재료 등의 요소기술을 융합한 마이크로가공기술에 의해 기계적 기능뿐만 아니라 마이크로센서와 마이크로구조물 각종 기술을 실현하고 있다. 최근의 연구동향은 더욱 넓은 분야, 예컨대, 바이오?의료분야, 신재료, 화학?생물분야에의 응용확대와 나노스케일의 초미세화를 겨냥하여 진전되는 추세다.

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