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NTIS 바로가기등록일자 | 2013-07-24 |
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출처 | RESEAT |
URL | https://www.reseat.or.kr/portal/cmmn/file/fileDown.do?menuNo=200019&atchFileId=229ac0214de14e9a850fb6998f562b9d&fileSn=1&bbsId= |
○ 원자현미경(AFM)으로 대표되는 주사형 프로브현미경(SPM)은 초미세영역의 표면형상을 고분해능으로 화상화하여 관찰하고 점탄성이나 전기?자기와 같은 표면특성을 관찰할 수 있는 첨단 계측장비로서, 카본나노튜브나 그래핀과 같은 탄소계 신소재, FRP와 같은 복합신소재 등의 개발에서 초박막의 재료특성을 해석하는데 있어서 중요한 역할을 담당하고 있다.
○ 첨단 디바이스의 제조과정에서 SPM을 이용하여 미세 입체구조를 측정할 때 정밀도를 높이기 위해서는 단차가 높은 형상을 정확하게 추적하고 주사의 평탄성과 연직도
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