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연합인증

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기상합성법에 의한 DLC 코팅 기술 원문보기

초록


○ 탄소(C)는 유기물과 무기물을 나누는 기준이 되고, 결합 형태에 따라서 초고경도의 다이아몬드에서 연성의 흑연까지 다양한 물질을 이루는 원소이다. 탄소는 결합 형태에 따라서 전혀 다른 물성을 나타내는데, 대표적인 예로 sp3 결합만을 가질 경우에는 다이아몬드가 되고, sp2 결합으로만 이루어지면 흑연이 된다. DLC는 다이아몬드 및 흑연과는 달리 sp2와 sp3가 섞여 있는 구조를 가지며, 경도, 내부식성, 내마모성 등의 물성이 다이아몬드와 유사하다.

○ DLC 코팅하는 방법은 플라스마 중에서 탄소이

참고문헌 (25)

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