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NTIS 바로가기등록일자 | 2022-02-03 |
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출처 | KOSEN-코센리포트 |
DOI | https://doi.org/10.22800/kisti.kosenexpert.2022.896 |
타원편광분광분석법(Spectroscopic Ellipsometry, SE)은 편광된 빛의 변화를 측정하는 편광광도계(polarimetry)의 일종이다. 타원편광법(ellipsometry)은 편광 상태의 빛을 시료 표면에 조사하여 반사된 빛의 편광 상태 변화를 측정하는 기법으로, 이것을 분광법(spectroscopy)과 결합하여 여러 파장에 대해 측정할 경우, 시편에 대한 여러 가지 유용한 광학적 물성을 도출할 수 있다. 특히 타원편광분광분석법은 박막 형태의 시편 및 유전체와 반도체 재료에 대해 박막의 두께 및 굴절률(refracti
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